· 沉积用的溶剂
novec ™ 7100具有低黏度及低表面张力的特性,提供了此化学液高润湿性与易流动的性能,其产品表现与pf-5060dl很类似。此化学液对全氟聚醚(pfpe)润滑剂 ,能有效的溶解制程中所需之添加物。
· 热传导的化学液
novec ™ 7100的液态范围很寛广,温度从零下135°c到61°c,可广泛的适用于一般的工业。特别适用于半导体中,自动测试机台(ate)及芯片中需低温控制之设备。 novec ™ 7100毒性低,不可燃,不会破坏臭氧层( odp值=零),且全球暖化潜值低 (gwp=320 ),大气存留时间短(alt=4.1年)。比 pfc 更环保。
novec™ 7100dl工业用化学液· 清洁用的化学液
novec ™ 7100dl是一个高纯度的 novec ™ 7100。此化学液的沸点为61°c,其溶解力适用于气相去污、湿式清洁和晶圆传送盒foup(front opening unified pod)的净化。此化学液的低表面张力,可深入渗透精密电子仪器中较紧密性的缝隙,提供完全彻底的清洁效果。 novec ™ 7100dl毒性低,且不被列为挥发性的有机化合物(volatile organic compound ,voc)。novec ™ 7100dl 是被美国环境保护局认同的显著新替代方案(u.s. epa's significant new alternatives policy (snap) program)。 novec ™ 7100dl可单独或混合其它溶剂 使用,此化学液与大部份的金属、塑件及橡胶材质的兼容性极佳。