蓝宝石抛光液

蓝宝石抛光液是以高纯度硅粉 为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低的金属离子型抛光产品。

蓝宝石抛光液主要用于蓝宝石衬底的抛光。还可广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。

如：硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。

蓝宝石抛光液的特点：

1.高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。

2.高纯度（cu含量小于50 ppb）,有效减小对电子类产品的沾污。

3.高平坦度加工,蓝宝石抛光液是利用sio2的胶体粒子进行抛光,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工。

蓝宝石抛光液根据ph值的不同可分为酸 性抛光液和碱 性抛光液。

蓝宝石抛光液的型号：

碱 性型号（ph:9.8±0.5）：soq-2a、soq-4a、soq-6a、soq-8a、soq-10a、soq-12d

酸 性型号（ph:2.8±0.5）：asoq-2a、asoq-4a、asoq-6a、asoq-8a、asoq-10a、asoq-12d

粒径(nm)： 10~30 30~50 50~70 70~90 90~110 110~130

外观： 乳白色或半透明液体

比重 1.15±0.05

组成 sio2：15~30％

na2o：≤0.3％

重金属杂质 ：≤50 ppb