供应六维微调架(图)

X、Y、Z轴行程±6.5mm,精度0.5μm、θX、θY、θZ移动量±2.5°、分辨率29〃/格

产品高精度、高刚性、高品质、底座和台面的材料采用特殊编号的硬质铝合金
材质不受外界环境温度变化、保证定位精度、稳定性并无漂移情况产生。