s系列为真正意义上的模块化结构设计探针台，让用户可完全围绕实际应用，选择最适合的功能配置，确保最佳成本解决方案的同时满足用户将来的升级需求。
s系列可定制的模块为：载物台及其移动基座模块、探针座放置平台移动模块和显微镜及其移动基座模块。用户可自行配置功能模块的同时，还可根据自身需求增加探针卡夹具、激光器、微腔体屏蔽系统、半自动控制系统、全自动控制系统、高温测试系等，满足更多的应用需求。
s系列还为用户提供了一个高刚性和稳定性的测试系统。载物台移动基座和探针台底座一体化的结构设计，显著地提高了载物台的结构刚性和稳定性。显微镜支撑为龙门结构，可应用于高放大倍率的光学系统，保证光学系统的稳定性。探针座放置平台采用高刚性结构设计，保证平台板整体的垂直应力形变在5μm/10n以内，拥有极高的稳定性以满足高精度探针座的定位要求。
| 技术指标 |
| 载物台(常规晶圆载物台） |
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| 尺寸 |
6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" |
| 材质 |
不锈钢 |
| 平整度 |
≤±2.5μm |
| 真空区域* |
0，2"，4"，6"环形吸附** |
| 真空控制 |
手动控制，独立真空区域 |
| 真空驱动方式 |
真空泵 |
| 载物台电性能 |
载物台信号导通，可选择接地或接信号 |
| *根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。 ** 除环形吸附外，还可选微孔吸附式载物台，以适用于厚度在50μm或以内的晶圆。 |
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| 载物台移动基座 |
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| x-y轴行程范围* |
6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程 |
| 精度 |
1μm |
| r轴粗调角度范围 |
360° |
| r轴细调角度范围 |
±9° |
| 微调精度 |
0.0001°/deg |
| z轴细调行程范围 |
13mm |
| 细调精度 |
1μm |
| z轴快升行程 |
0~6mm, 可调 |
| z轴往复精度 |
<1μm |
| 载物台快速拖出行程 |
100mm |
| *根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则x-y移动行程为12"*12"。 |
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| 探针座放置平台 |
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| 材质 |
钢，表面沉镍处理 |
| 平台板尺寸* |
可放置8个cm50或4个rf50探针座 |
| 平台板至载物台高度 |
1.496”(38mm) |
| 探针座兼容性 |
可兼容磁力或真空吸附底座的探针座 |
| z轴细调行程范围 |
45mm |
| z轴快升行程 |
350μm |
| z轴往复精度 |
<1μm |
| *此处为6"探针台可放置的探针座数量，更大尺寸探针台详询客服人员。
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| 显微镜移动基座 |
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| x-y轴行程范围 |
2"*2"(50mm* 50mm) |
| x-y轴精度 |
1μm |
| 调焦行程 |
2"(50mm) |
| 精度 |
1μm |
| z轴粗调行程 |
100mm |
| 气动升降行程 |
40mm |
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