产品特点:
1. 简洁的结构设计,占用空间小(44cm x 28cm x 49cm)。
2. 简单的功能配置,高性价比的测试探针台系统。
3. 操作简易,适用于被测点尺寸在50μm以上或样片尺寸4”以内的测试。
4. 完整的系统配件,满足i-v/c-v测试、rf测试等测试需求。
5. 标准的产品系统,可在2周内快速交货。
产品简介
mini系列探针台结构设计小巧紧凑,功能配置简单,为用户提供了高效的空间利用和高性价比的测试方案。
mini系统可满足用户急迫的使用需要、标准的产品系统可在2周内交货。
mini系列可兼容多种测试配件,用户可将mini系列可应用于不同的分析测试中,如漏电精度低于100fa的i-v测试、分辨率为0.1pf的电容测试以及dc-67ghz的微波测试等等。
mini系列仅包含了探针台的基础功能,用户可快速上手探针台的操作。载物台x-y移动基座采用同轴调节结构,可快速精准地定位测试样片。
载物台360°r轴粗调,可快速地对准探针和被测点。
载物台真空吸附采用旋钮开关,相较于真空拔子开关,旋钮开启和关闭真空的过程中不会产生震动,可很好地保护探针和被测点。
探针台底座配置xx材料防震脚垫,能有效减弱从外界传导至探针台的震动,提升mini系列的稳定性。
全内置的载物台真空管路和接地线路,让用户在无干扰的情况下更加简单高效地进行测试。
性能参数
载物台 |
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尺寸 |
4"(101.6mm) |
材质 |
不锈钢 |
平整度 |
≤±2.5μm |
真空区域 |
0,2",4",环形吸附 |
真空控制 |
手动控制,独立真空区域 |
载物台电性能 |
载物台信号导通,可选择接地或接信号 |
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载物台移动基座 |
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x-y轴行程范围 |
2"*2"(50.8mm*50.8mm) |
精度 |
10μm |
r轴粗调角度范围 |
360° |
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探针座放置平台 |
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材质 |
沉镍不锈钢 |
平台板尺寸 |
可放置8个se40或4个se80 |
平台板至载物台高度 |
1.496"(38mm) |
探针座兼容性 |
可兼容磁力或真空吸附底座的探针座 |
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显微镜基座 |
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支撑杆 |
不锈钢支柱 |
调焦行程 |
2"(50mm) |
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显微镜 |
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类型 |
体视显微镜 |
光学放大倍率 |
15x-100x |
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其它信息 |
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台体尺寸 |
440mm*280mm*490mm(w*d*h) |
重量 |
21kg |