fujikin富士金 mega系列膜片阀

fujikin富士金 mega系列膜片阀

产品简介:

应用行业:半导体、太阳能、液晶面板制造等行业，或者其他一些有超高纯流体要求的行业.

应用流体:设备和机台里面的超高纯气体、易燃易爆气体以及有毒气体等特种电子气体.

工作压力:低压(1mpa),高压(16.2mpa)

工作温度: -10℃-80℃

动作方式:手动和气动

气动阀有常开和常闭两种初始状态可选

连接方式:焊接、卡套、vcr等连接方式

表面处理:ep(标准)，10ra,ry＜1.0um; up (可选):5ra,ry＜0.7um.

接口尺寸:1/4”-3/4