上海多层无氧烘干箱，12寸晶圆干燥箱

上海多层无氧烘干箱，12寸晶圆干燥箱

上海旦顺实业有限公司，专用烘箱设备制造商。每台烘箱都严格按照标准，做工精致！烘箱性能稳定！此款烘箱适用于半导体行业！

一、充氮无氧烘箱特点：

 1..全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，sus304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

 2..适合于无尘室环境中使用

 3. 日本富士p.i.d智能温控仪表，操作便捷！

 4. 六个腔体独立控制，节省空间，操作方便！

 5. 全不锈钢材质，外观精致美观！

二、充氮无氧烘箱主要参数：

1. 产品型号及名称：充氮无氧烘箱 ann-6d

2. 规格尺寸：工作尺寸：w450*h380*d450(6腔体)

3..温度范围：rt＋10℃～250℃，40-45分钟(空箱测试)。

4. 温度控制：精度±0.5％;

5. 温度均匀：±2％ (空箱测试)

6. 功    率：18kw

7. 降    温：采用风冷降温方式

8. 加 热 器：特质复合式sus304＃不锈钢无尘电热产生器

9. 保温材质：120k级高密度硅酸  铝纤维填充，保温层厚度为100mm

10 每个工作腔配置独立的氮气流量计。

11.温控系统：

温控装置：富士p.i.d智能温控仪表， led数字显示及设定、p.i.d自动演算、八段程

序控制（六套）。

   温控输出：ssr输出，欧姆龙继电器，固态继电器。

   测温装置：1支pt100铂电阻温度传感装置，测温精确。

   定时装置：hs48s-99.99定时仪表。

12.完善的安  全保护措施：

炉门自锁装置//漏电断路器//超温保护//超时报警//马达过载电流保护//机台异常蜂

鸣器警示

公司名称：上海旦顺实业有限公司