全不锈钢晶圆专用洁净充氮烘箱,无尘室专用烘箱
上海旦顺实业有限公司,专用烘箱设备制造商。每台烘箱都严格按照标准,做工精致!烘箱性能稳定!此款烘箱适用于半导体行业!
一、充氮无氧烘箱特点:
1..全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,sus304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
2..适合于无尘室环境中使用
3. 日本富士p.i.d智能温控仪表,操作便捷!
4. 六个腔体独立控制,节省空间,操作方便!
5. 全不锈钢材质,外观精致美观!
二、充氮无氧烘箱主要参数:
1. 产品型号及名称:充氮无氧烘箱 ann-6d
2. 规格尺寸:工作尺寸:w450*h380*d450(6腔体)
3..温度范围:rt+10℃~250℃,40-45分钟(空箱测试)。
4. 温度控制:精度±0.5%;
5. 温度均匀:±2% (空箱测试)
6. 功 率:18kw
7. 降 温:采用风冷降温方式
8. 加 热 器:特质复合式sus304#不锈钢无尘电热产生器
9. 保温材质:120k级高密度硅酸 铝纤维填充,保温层厚度为100mm
10 每个工作腔配置独立的氮气流量计。
11.温控系统:
温控装置:富士p.i.d智能温控仪表, led数字显示及设定、p.i.d自动演算、八段程
序控制(六套)。
温控输出:ssr输出,欧姆龙继电器,固态继电器。
测温装置:1支pt100铂电阻温度传感装置,测温精确。
定时装置:hs48s-99.99定时仪表。
12.完善的安 全保护措施:
炉门自锁装置//漏电断路器//超温保护//超时报警//马达过载电流保护//机台异常蜂
鸣器警示