等离子设备通常呈现一些相当均匀的圆柱型微通道,每一个微通道就是一个强烈的流光放电击穿过程,带电粒子的输运过程及等离子体化学反应就发生在这些微放电通道内. 因此一些研究者将微放电作为碳等离子体的主要特性,并通过研究微放电的性质来研究碳等离子体的整体特性。
从碳的物理过程来看,电源电压通过电介质电容耦合到放电间隙形成电场,空间电子在这一电场作用下获得能量,与周围气体发生非弹性碰撞,电子从外加电场取得能量转移给气体分子，气体被激励后,发生电子雪崩,出现了相当数量的空间电荷。
电离子体聚集在雪崩头部,形成本征电,再与外加电场叠加起来形成很高的局部电场,在新形成的局部电场作用下,雪崩中的电子得到进一步加速,使放电间隙的电子形成空间电荷的速度比电子迁移速度更快,形成了往返两个电场波,电场波向阴极方向返回时更强,这样一个导电通道能非常快地通过放电间隙形成大量微细丝状的脉冲流光微放电。
比知道怎么处理工业生产中产生的废气吗？要知道废气多数都是重工业生产过程中的产物，对于人体和环境的危害是十分严重。等离子设备的稳定性不知道是不是能够满足工业废气的处理需求呢？
电离子体很均匀、漫散和稳定,彼此孤立地随机发生在不同地点，当微放电通道形成以后,空间电荷就在通道内输送累积在电介质表面产生反向电场而使放电熄灭,形成微放电脉冲。在一定范围内,微放电的数量随供电电压及频率的增加而增加. 可见碳介质的分布电容对于微放电的形成起着十分重要的镇流作用. 一方面,由于电介质的存在,有效地限制了带电粒子的运动,防止了放电电流的无限制增长,从而避免了在放电间隙内形成火花放电或弧光放电;另一方面,电介质的存在可以使微放电均匀稳定地分布在整个放电空间内。
等离子设备是目前最有效的废气净化技术，碳放电高能离子技术突破欧洲传统“花冠放电”高能离子技术，采用碳作为介质放电材料，介质可以覆盖在电极上,也可以悬挂在放电空间里，电极间的气体就会被击穿产生碳阻挡气体放电。在大气压或高于大气压条件下,间隙内的气体放电由许多在时间上和空间上随机分布的微放电构成,这些微放电的持续时间很短,一般为纳秒量级。
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