主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90％；
2、降温迅速，3分钟内制冷到-100℃，最低可到-140℃；
3、2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;
4、一台设备可设计两路负载输出；
5、进口压缩机，环保混合型制冷剂;
6、触摸屏+plc=完善的自动化控制；
7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示；
8、当待机温度到达后有指示灯提示，可以开始制冷；
9、除霜温度自由设定；
10、具有水温温度、排气温度显示；
11、缺水、水温过高报警；
12、压缩机排气过高、压力过高保护；
13、电源断电、缺相报警；
14、可本地、远程控制自由转换；
15、rs485计算机数据接口，计算机可读取温度数据及控制。
-135℃水汽捕集泵 -135℃ water vapor cryopump
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型 号 |
th-135-3p |
th-135-5p |
th-135-7p |
th-135-10p |
th-135-12p |
th-135-15p |
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压缩机功率(kw) |
2.8 |
4.6 |
6.3 |
8.5 |
10.1 |
12.3 |
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工作温度（℃） |
-100℃至-140℃ | |||||
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抽气速度（l/s） |
30600 |
51000 |
73000 |
101000 |
153000 |
250000 |
|
制冷量（w） |
300 |
500 |
1200 |
1800 |
2500 |
3500 |
|
冷凝管表面积(m2) |
0.15 |
0.3 |
0.5 |
0.7 |
1.0 |
2. 0 |
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冷凝管长度 |
8m,φ6mm |
10m,φ10mm |
12m,φ12mm |
14m,φ16mm |
24m,φ16mm |
40m,φ16mm |
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预冷时间（min） |
≤30 |
≤30 |
≤30 |
≤30 |
≤40 |
≤40 |
|
降温时间（min） |
≤5 |
≤5 |
≤5 |
≤5 |
≤6 |
≤7 |
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除霜时间(min) |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
|
再降温时间(min) |
≤5 |
≤5 |
≤5 |
≤5 |
≤6 |
≤6 |
|
适用油扩散泵径（mm） |
≤300 |
≤500 |
≤800 |
≤1000 |
双路输出 |
双路输出 |
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冷却方式 |
风冷、水冷(t≤30℃) |
水冷(t≤30℃) |
水冷(t≤30℃) |
水冷(t≤30℃) |
水冷(t≤30℃) | |
|
适用腔体直径（mm） |
≤900 |
≤1300 |
≤1500 |
≤1700 |
≤2000 | |
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