amw200pro晶圆贴膜机自带晶圆位置和翘曲映射功能
amw200pro晶圆贴膜机特点:
·独特的专利真空安 装技术,不带滚轮(可选滚轮安 装)
·晶圆搬运机器人
·伯努利臂用于更薄的晶圆处理
·晶圆位置和翘曲智能映射
·晶圆对准用光纤传感器
·处理各种拉链的拉链
·晶圆盒式装载&卸载
·17英寸标准工业pc控制,带触摸屏lcd
·完整的sst封面&铝片框和门
·内置离子发生器,可提供esd保护
·uv&uv胶带功能
amsemi amw200pro晶圆贴膜机规格:
晶圆直径:4”&5”,6”&8”
晶圆厚度:70~750um
尺寸:1350mm(w)×1200mm(d)×1750mm(h)
重量:500kg
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