低温等离子净化作用机理包含两个方面：
1、在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能足够打开一些有害气体分子内的化学键，使之分解为单质原子或无害分子。
2、等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。
当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量·oh、·ho2、·o等活性自由基和氧化性极强的o3，与有害气体分子发生化学反应，最终生成无害产物。
低温等离子体中的高能电子可使电负性高的气体分子（如氧分子、氮分子）带上电子而成为负离子，它具有许多良好的健康效应，对人体及其他生物的生命活动有着十分重要的影响，被人们誉为“空气维生素 ”、“长寿素 ”。
低温等离子体的净化作用还具备显著的生物效应。发生的静电作用在各种细菌、病毒等微生物表面产生的电能剪切力大于细胞膜表面张力，使细胞膜遭到破坏，导致微生物死亡。因此低温等离子体除臭技术具有优秀的消毒杀菌之功效。
低温等离子光解净化器的保养规范：
1、一定要严格遵守废气处理工艺技术规程、规程和岗位操作规程，这些规程是组织生产与进行操作的基本法规，是从生产和科研实践中总结出来的规律性的东西。严格遵守这些法规是日常运行中重要的一条原则。
2、务必要强调各工种的相互配合，生产中往往因废气处理设备辅助工作发生错误而影响生产的正常运行，如分析的错误将引起加料量和物料成分的改变；仪表的指示错误会欺骗操作人员，使得实际操作条件大大偏离工艺规程的要求。电器故障和设备故障也会引起生产的不正常。
3、必须认真执行设备各项规章制度
4、做等离子uv光解器的企业应该具备的制度：适合自己实际情况的运行管理制度，责任制度，交接班制度，检测制度，设备维护、检修制度，健康检查制度，质量检验制度和经济核算制度等。
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