康华过滤科技可生产替代veeco以及aixtron公司mocvd设备k-465,k465i,e-300
机型的滤芯。 可根据客户要求设计,订做。(调整:尺寸,使用材料,整体构造等)为客户产品打造合适的滤芯,确保各种过滤要求,达到优秀过滤效果。
veeco k465 k465i e300外延设备滤芯
产品说明:
该产品系我司针对veeco k465i设备设计生产的滤芯,安 装于真空泵前,用于滤除混合气体中的粉 尘和颗粒;
2只/组(粗滤、细滤)
过滤效率:
1、粗滤:100μm=90%
2、细滤:25μm=99.95%
3、透气量:1000l/sec/㎡
产品特性:
1、采用两级过滤工艺,分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。
2、波纹工艺,有效过滤面积增加,容污能力强,使用周期长。
3、滤料采用玻纤滤料,具耐高温、耐腐蚀,长期使用温度可达250度以上。
4、专用的高精度过滤材料,空隙均匀,过滤精度高,有效保护设备。