veeco k465i外延设备滤芯_mocvd设备过滤器_高温粉 尘滤芯_玻纤滤芯 拥有国内外先进的生产设备、工艺装备和高精度的检测手段
,严格可靠的质量体系。产品具有过滤精度高、起始压差小、流通能力大、纳污容量大以及使用寿命长的特点。主要性能指标达到国际先进水准,可直接替代同类进口产品。
过滤效率:
1、粗滤:100μm=90%
2、细滤:25μm=99.95%
3、透气量:1000l/sec/㎡
产品特性:
1、采用两级过滤工艺,分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。
2、波纹工艺,有效过滤面积增加,容污能力强,使用周期长。
3、滤料采用玻纤滤料,具耐高温、耐腐蚀,长期使用温度可达250度以上。
4、专用的高精度过滤材料,空隙均匀,过滤精度高,有效保护设备。