毛细管系列测厚仪

毛细管是高端机型,其光斑尺寸有80、15、7.5μm(fwhm),100倍放大相机用于观察样品上的细微特征; 同时配有低倍数相机,用于观察样品的宏观成像。博曼的双摄像头系统可让操作人员看到整个样品,点击图像,通过高倍放大相机进行放大,实现测量点的精确定位和测量。

可编程的xy平台,可精确定位多个测量点；博曼专有的样品模式识别软件搭配自动对焦功能,可帮助客户自动快速完成细微样品特征的测试。独特的3d mapping扫描功能可绘制出硅晶圆等部件表面的镀层形貌。